ПМТ МИЭТ

Энергоэффективность производств системы чистых помещений микроэлектроники

научный руководитель к.т.н., доцент А.С. Рябышенков

– междисциплинарные научные исследования в области проектирования систем энергоэффективного кондиционирования воздуха чистых помещений микроэлектроники на основе современных автоматических средств контроля и учету энергопревращений в системе воздухо-подготовки для чистых помещений.