ПМТ МИЭТ

Тонкие пленки и наноструктуры для технологий наноэлектроники и наноинженерии

научный руководитель д.т.н., профессор Д.Г. Громов

– технология тонких пленок различных материалов, включая многокомпонентные; разработка и исследование новых каталитических систем для синтеза углеродных нанотрубок; исследование механизмов формирования наноструктур; фундаментальные исследования размерных эффектов в тонкопленочных структурах и наносистемах; разработка харвестерных источников и систем накопления электрической энергии на основе наноструктур; исследование процессов самораспространяющегося высокотемпературоного синтеза в многослойных тонкопленочных и наноразмерных системах; разработка новых материалов и процессов для формирования систем металлизации интегральных схем с нанометровыми технологическими нормами.

Самораспространяющийся высокотемпературный синтез в тонкопленочной многослойной структуре, инициируемый лазерным лучом