ПМТ МИЭТ

Быстрые термические и газофазные процессы формирования пленок оксидов и полупроводников


научный руководитель к.т.н., доцент Л.И. Матына

– исследование быстрых термических и газофазных процессов формирования пленок широкозонных соединений и оксидов металлов с заданными свойствами и структур на их основе для изделий микро-, опто- и наноэлектроники.