В настоящее время научная деятельность Института представлена следующими направлениями:
Низкотемпературные процессы микро- и нанотехнологии
Узнать больше
Тонкие пленки и наноструктуры для технологий наноэлектроники и наноинженерии
Узнать больше
Быстрые термические и газофазные процессы формирования пленок оксидов и полупроводников
Узнать больше
Энерго-экологические проблемы получения полупроводниковых материалов с заданными свойствами
Узнать больше
Энергоэффективность производств системы чистых помещений микроэлектроники
Узнать больше
Проекты 2014-2019 гг., выполненные (выполняемые) при содействии фондов грантовой поддержки
Некоторые из наиболее значимых публикаций сотрудников в международных высокорейтинговых изданиях за последние 5 лет
Патенты на изобретения за последние 5 лет
Наши диссертации