ПМТ МИЭТ

Наука

В настоящее время научная деятельность Института представлена следующими направлениями:

Низкотемпературные процессы микро- и нанотехнологии Тонкие пленки и наноструктуры для технологий наноэлектроники и наноинженерии
Высокоточные температурные технологии Некристаллические материалы и приборы на их основе
Термодинамика макроскопических и наносистем Быстрые термические и газофазные процессы формирования пленок оксидов и полупроводников
Мониторинг природно-технических систем Дистанционные системы экологического мониторинга
Энерго-экологические проблемы получения полупроводниковых материалов с заданными свойствами Энергоэффективность производств системы чистых помещений микроэлектроники
 

Проекты 2014-2019 гг., выполненные (выполняемые) при содействии фондов грантовой поддержки

Некоторые из наиболее значимых публикаций сотрудников в международных высокорейтинговых изданиях за последние 5 лет

Патенты на изобретения за последние 5 лет

Наши диссертации