ПМТ МИЭТ

Наука

В настоящее время научная деятельность Института представлена следующими направлениями:

Низкотемпературные процессы микро- и нанотехнологии Тонкие пленки и наноструктуры для технологий наноэлектроники и наноинженерии
Высокоточные температурные технологии Некристаллические материалы и приборы на их основе
Термодинамика макроскопических и наносистем Быстрые термические и газофазные процессы формирования пленок оксидов и полупроводников
Мониторинг природно-технических систем Дистанционные системы экологического мониторинга
Энерго-экологические проблемы получения полупроводниковых материалов с заданными свойствами Энергоэффективность производств системы чистых помещений микроэлектроники

Проекты 2014-2019 гг., выполненные (выполняемые) при содействии фондов грантовой поддержки

Гранты Российского научного фонда (РНФ)

  • Изучение механизма фазовых переходов, структурных превращений, магнитных взаимодействий и магнитотранспортных явлений в манганитах и кобальтитах со структурой типа перовскита для создания функциональных магнитных и электротехнических материалов (2015-2017)
  • Получение, стабильность и физические свойства композитных П(ВДФ-ТрФЭ)-графеновых тонких пленок, волокон, мембран и покрытий (2016-2018)
  • Развитие физико-технологических основ формирования автономной термоэлектрической батареи с источником тепла на основе термитного материала (2016-2018)
  • Фазовые превращения в тонких пленках халькогенидных стеклообразных полупроводников системы Ge-Sb-Te при воздействии импульсным лазерным излучением нано- и фемтосекундной длительности (2017-2018)
  • Исследование структуры, обменных взаимодействий, магнитных и диэлектрических свойств сложных оксидов переходных металлов перспективных для создания новых функциональных материалов (2018-2020)
  • Разработка эффективных гибких и пленочных термоэлектрических генераторов (2018-2020)

Гранты Российского фонда фундаментальных исследований (РФФИ)

  • Функциональные свойства электро- и магнитострикционных материалов на основе оксидов переходных металлов, синтезированные гидротермальным золь-гель методом (2017)
  • Развитие физико-химических основ повышения эффективности фотокаталитических систем активных в видимом диапазоне на основе модифицированных слоёв анодного наноструктурированного оксида титана (2018-2021)
  • Индуцированные полем структурные и магнитные фазовые переходы в твердых растворах BiFeO3 (2015-2016)
  • Исследование механизмов электрохимического окисления вентильных металлов (2016 -2018)
  • Функциональные свойства твердых растворов Bi1-x(RE)xFe(Mn)O3 вблизи фазовых границ (2016-2017)
  • Разработка принципов управления электрофизическими и геометрическими параметрами анодных слоев TiO2 для создания структур фотовольтаики и фотокатализа (2014-2015)
  • Моделирование многосекционных термоэлементов для рабочих температур до 1200К с учетом тепло- и электрофизических параметров используемых термоэлектрических материалов и контактных систем (2018-2020)
  • Функциональные материалы на основе легированных In халькогенидных полупроводников системы Ge-Sb-Te для многоуровневых устройств фазовой памяти (2018-2020)

Гранты Президента Российской Федерации для молодых кандидатов наук

  • Разработка методов получения гибридных композитных наноматериалов на основе сегнетоэлектрических полимерных пленок и электроактивных наночастиц для акустических датчиков (2015-2016)
  • Исследование особенностей процесса формирования пористого оксида алюминия в новом электролите на основе селеновой кислоты (2016-2017)
  • Исследование химического/электрохимического равновесия системы TiO2-HF (2014-2015)
  • Механизмы и кинетика кристаллизации аморфных тонких пленок Ge2Sb2Te5 при термообработке (2018-2019)
  • Разработка конструктивно-технологических решений и изготовление ячейки энергонезависимой фазовой памяти на основе тонких пленок Ge2Sb2Te5 (2016-2017)

Проекты в рамках Федеральной целевой программы «Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития научно-технологического комплекса России на 2014-2020 годы»

  • Разработка конструкции и технологии многосекционного термоэлемента для термоэлектрических генераторов, работающих в широкой области температур
  • Разработка методов моделирования теплофизических свойств термоэлектрических материалов и структур и создание эффективных термоэлектрических тепловых насосов для преобразования низкопотенциальной тепловой энергии
  • Разработка и программная реализация методов предсказательного моделирования процессов радиообмена в зданиях и сооружениях и создание низкопотребляющих приемо-передающих устройств для автоматизированных систем контроля и управления
  • Термодинамическое моделирование теплофизических параметров термочувствительных элементов и создание высокоточных электронных средств измерения температуры для автоматизированных энергосберегающих систем транспортировки, распределения и учета потребления энергоносителей

Некоторые из наиболее значимых публикаций сотрудников в международных высокорейтинговых изданиях за последние 5 лет:

  • Gavrilov, S.A., Dronov, A.A., Gavrilin, I.M., Volkov, R.L., Borgardt, N.I., Trifonov, A.Y., Pavlikov, A.V., Forsh, P.A., Kashkarov, P.K. Laser crystallization of germanium nanowires fabricated by electrochemical deposition (2018) Journal of Raman Spectroscopy, 49 (5), pp. 810-816.
  • Gromov, D., Sherchenkov, A., Lebedev, E., Babich, A., Nemtseva, S., Shaman, Y., Maniecki, T., Maniukiewicz, W., Mierczynski, P., Ciesielski, R., Gavrilov, S. The influence of compression conditions on the peculiarities of self-propagating exothermal reaction in Al–Ni powder reactive materials (2018) Journal of Thermal Analysis and Calorimetry, 134 (1), pp. 35-44.
  • Dronov, A., Gavrilin, I., Kirilenko, E., Dronova, D., Gavrilov, S. Investigation of anodic TiO2 nanotube composition with high spatial resolution AES and ToF SIMS (2018) Applied Surface Science, 434, pp. 148-154.
  • Sherchenkov, A., Kozyukhin, S., Borgardt, N., Babich, A., Lazarenko, P., Sybina, Y., Tolepov, Z., Prikhodko, O. Multiple thermal cycling and phase transitions in Ge-Sb-Te materials (2018) Journal of Non-Crystalline Solids, 501, pp. 101-105.
    Silibin, M.V., Bystrov, V.S., Karpinsky, D.V., Nasani, N., Goncalves, G., Gavrilin, I.M.,
  • Solnyshkin, A.V., Marques, A.P., Singh, B., Bdikin, I.K. Local mechanical and electromechanical properties of the P(VDF-TrFE)-graphene oxide thin films (2017) Applied Surface Science, 421, pp. 42-51.
  • Nazarkina, Y., Kamnev, K., Dronov, A., Dudin, A., Pavlov, A., Gavrilov, S. Features of Porous Anodic Alumina Growth in Galvanostatic Regime in Selenic Acid Based Electrolyte (2017) Electrochimica Acta, 231, pp. 327-335.
  • Pavlova, L., Shtern, Y., Kirilenko, E. Thermal expansion of bulk nanostructured n-type SiGe nanocomposite from 300 to 1400 K (2017) Journal of Materials Science, 52 (2), pp. 921-934.
  • Sherchenkov, A.A., Kozyukhin, S.A., Babich, A.V., Lazarenko, P.I., Vargunin, A.I. Integral isoconversional method for evaluating crystallization parameters of thin films of Ge2Sb2Te5 phase change memory materials (2017) Inorganic Materials, 53 (1), pp. 45-49.
  • Babich, A., Sherchenkov, A., Kozyukhin, S., Lazarenko, P., Boytsova, O., Shuliatyev, A. Effect of doping on the crystallization kinetics of phase change memory materials on the basis of Ge–Sb–Te system (2017) Journal of Thermal Analysis and Calorimetry, 127 (1), pp. 283-290.
  • Gromov, D.G., Bulyarskii, S., Pavlov, A., Scorik, S., Shulyat’Ev, A., Trifonov, A.Y. Catalytic CVD-growth of array of multiwall carbon nanotubes on initially amorphous film Co-Zr-N-O (2016) Diamond and Related Materials, 64, pp. 97-102.
  • Shtern, Y.I., Karavaev, I.S., Rykov, V.M., Shtern, M.Y., Rogachev, M.S. Development of the method of software temperature compensation for wireless temperature measuring electronic instruments (2016) International Journal of Control Theory and Applications, 9 (30), pp. 139-146.
  • Silibin, M.V., Belovickis, J., Svirskas, S., Ivanov, M., Banys, J., Solnyshkin, A.V., Gavrilov, S.A., Varenyk, O.V., Pusenkova, A.S., Morozovsky, N., Shvartsman, V.V., Morozovska, A.N. Polarization reversal in organic-inorganic ferroelectric composites: Modeling and experiment (2015) Applied Physics Letters, 107 (14), статья № 142907.
  • Nazarkina, Y., Gavrilov, S., Terryn, H., Petrova, M., Ustarroz, J. Investigation of the ordering of porous anodic alumina formed by anodization of aluminum in selenic acid (2015) Journal of the Electrochemical Society, 162 (9), pp. E166-E172.
  • Shilyaeva, Y.I., Bardushkin, V.V., Gavrilov, S.A., Silibin, M.V., Yakovlev, V.B., Borgardt, N.I., Volkov, R.L., Smirnov, D.I., Zheludkevich, M.L. Melting temperature of metal polycrystalline nanowires electrochemically deposited into the pores of anodic aluminum oxide (2014) Physical Chemistry Chemical Physics, 16 (36), pp. 19394-19401.
  • Gromov, D.G., Pavlova, L.M., Savitsky, A.I., Trifonov, A.Y. Nucleation and growth of Ag nanoparticles on amorphous carbon surface from vapor phase formed by vacuum evaporation (2014) Applied Physics A: Materials Science and Processing, 118 (4), pp. 1297-1303.
  • Shilyaeva, Y., Gavrilov, S., Matyna, L. Melting of indium, tin, and zinc nanowires embedded in the pores of anodic aluminum oxide (2014) Journal of Thermal Analysis and Calorimetry, 118 (2), pp. 937-942.

Патенты на изобретения за последние 5 лет:

  • 2658494 (2018) Автономный портативный термоэлектрический источник питания
  • 177522 (2018) Микродозирующее устройство для газов
  • 2016110746 (2017) Способ формирования нитей кремния металл-стимулированным травлением с использованием серебра
  • 2620987 (2017) Способ формирования 3D микроструктур кремния металл-стимулированным травлением
  • 2610058 (2017) Способ получения материала фазовой памяти
  • 2631071 (2017) Способ получения аморфных пленок халькогенидных стеклообразных полупроводников с эффектом фазовой памяти
  • 2016147870 (2017) Способ извлечения галлия из порошковых галлийсодержащих отходов
  • 2593416 (2016) Способ изготовления межсоединений полупроводниковых приборов
  • 2601243 (2016) Способ получения термоэлектрического элемента
  • 2593415 (2016) Способ изготовления межсоединений полупроводниковых приборов
  • 177296 (2018) Воспламенитель на основе многослойных структур
  • 2015114730 (2016) Накладной беспроводной датчик для измерения температуры
  • 2014110227 (2015) Способ измерения потребления тепловой энергии в системах отопления на любом контролируемом участке
  • 2014121084 (2015) Защитное покрытие для гибкого солнечного элемента и способ его формирования
  • 2511025 (2014) Тестовая структура для оценки радиуса кривизны острия иглы кантилевера сканирующего зондового микроскопа
  • 2012157137 (2014) Пьезоэлектрический прибор
  • 2533010 (2014) Способ изготовления планарного конденсатора повышенной емкости
  • 2013142613 (2013) Способ получения квазипериодического массива капсулированных слоем халькогенида металлических наночастиц

Наши диссертации:

Докторские диссертации

Специальность: 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники — технические науки

  • Белов Алексей Николаевич (2011) Процессы формирования наноструктур на основе пористых анодных оксидов металлов
  • Штерн Юрий Исаакович (2010) Разработка физико-технологических основ создания термоэлектрического оборудования для прецизионного регулирования и стабилизации температуры

Специальность: 05.11.13 Приборы и методы контроля природной среды, веществ, материалов и изделий — технические науки

  • Рябышенков Андрей Сергеевич (2018) Научные основы энергетического мониторинга системы кондиционирования и фильтрации воздуха чистых помещений микроэлектроники
  • Севрюкова Елена Александровна (2017) Теория ростового процесса молекулярных загрязнений и научные основы контроля чистоты поверхностей изделий индустрии высоких технологий

Кандидатские диссертации

Специальность: 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники — технические науки

  • Рогачев Максим Сергеевич (2018) Моделирование конструкций и разработка технологии многосекционных термоэлементов для эффективных термоэлектрических генераторов
  • Кицюк Евгений Павлович (2017) Исследование и разработка процессов формирования наноструктурированных электродов электрохимических устройств накопления энергии
  • Лебедев Егор Александрович (2017) Разработка процессов формирования и исследование свойств элементов выделения тепла и накопления энергии для термоэлектрических батарей
  • Бабич Алексей Вальтерович (2017) Исследование влияния примесей Bi, In и Ti на свойства материалов фазовой памяти на основе системы Ge-Sb-Te
  • Пятилова Ольга Вениаминовна (2015) Исследование особенностей формирования массива кластеров серебра и структур на их основе для создания элементов функциональной электроники
  • Дубков Сергей Владимирович (2015) Исследование и разработка процесса плазмостимулированного химического осаждения углеродных наноструктур из монооксида углерода
  • Лазаренко Петр Иванович (2014) Технология получения и электрофизические свойства тонких пленок материалов системы Ge-Sb-Te, предназначенных для устройств фазовой памяти
  • Козьмин Александр Михайлович (2013) Разработка и исследование нанохарвестера пьезоэлектрической энергии на основе нанокристаллов оксида цинка
  • Миронов Ростислав Евгеньевич (2013) Моделирование и исследование теплофизических параметров материалов и структур на основе теллурида висмута и разработка термоэлектрических насосов для преобразования низкопотенциальной тепловой энергии
  • Дронов Алексей Алексеевич (2012) Исследование и разработка технологий создания фотоэлектродов на основе наноструктурированного оксида титана
  • Штерн Максим Юрьевич (2011) Термоэлектрические устройства и оборудование для обеспечения тепловых режимов вычислительной техники
  • Горшкова Екатерина Викторовна (2010) Термические характеристики и стабильность тонких пленок на основе a-Si:H и его сплавов и халькогенидных полупроводников системы Ge-Sb-Te

Специальность: 05.11.13 Приборы и методы контроля природной среды, веществ, материалов и изделий — технические науки

  • Караваев Иван Сергеевич (2017) Аппаратно-программные средства для автоматических систем контроля параметров энергоносителей и метрологическое обеспечение для их исследования и производства
  • Кожевников Яков Серафимович (2013) Интеллектуальная система контроля индивидуального потребления тепловой энергии
  • Силибин Максим Викторович (2010) Исследование и разработка методов контроля параметров наноразмерных пленок твердых растворов титаната-цирконата свинца

Специальность: 02.00.04 Физическая химия — химические науки

  • Шиляева Юлия Игоревна (2015) Исследование особенностей фазовых переходов I рода в нитевидных нанокристаллах (In, Sn, Zn) в порах анодного Al2O3