В настоящее время научная деятельность Института представлена следующими направлениями:
Низкотемпературные процессы микро- и нанотехнологии | Тонкие пленки и наноструктуры для технологий наноэлектроники и наноинженерии |
![]() |
![]() |
Высокоточные температурные технологии | Некристаллические материалы и приборы на их основе |
![]() |
![]() |
Термодинамика макроскопических и наносистем | Быстрые термические и газофазные процессы формирования пленок оксидов и полупроводников |
![]() |
![]() |
Мониторинг природно-технических систем | Дистанционные системы экологического мониторинга |
![]() |
![]() |
Энерго-экологические проблемы получения полупроводниковых материалов с заданными свойствами | Энергоэффективность производств системы чистых помещений микроэлектроники |
![]() |
![]() |
Проекты 2014-2019 гг., выполненные (выполняемые) при содействии фондов грантовой поддержки