В настоящее время научная деятельность Института представлена следующими направлениями:
| Низкотемпературные процессы микро- и нанотехнологии | Тонкие пленки и наноструктуры для технологий наноэлектроники и наноинженерии |
 |
 |
| Высокоточные температурные технологии | Некристаллические материалы и приборы на их основе |
 |
 |
| Термодинамика макроскопических и наносистем | Быстрые термические и газофазные процессы формирования пленок оксидов и полупроводников |
 |
 |
| Мониторинг природно-технических систем | Дистанционные системы экологического мониторинга |
 |
 |
| Энерго-экологические проблемы получения полупроводниковых материалов с заданными свойствами | Энергоэффективность производств системы чистых помещений микроэлектроники |
 |
 |
Проекты 2014-2019 гг., выполненные (выполняемые) при содействии фондов грантовой поддержки
